上世紀80年代初，在研制高速鋼工具氧氮共滲技術(shù)時 ，開始用低真空原理制造設(shè)備和試驗配套工藝(即低壓氧氮共滲技術(shù))，工件在設(shè)定的低真空上限下限范圍內(nèi)自行循環(huán)加熱，爐氣在設(shè)定的時間周期內(nèi)自行反復吐故納新，解決了工件在滲氮、滲碳過程的密裝生產(chǎn)、爐氣老化、滲層均勻性等難題；根據(jù)適當增加爐壓可增加N、C原子滲速，在低真空變壓的基礎(chǔ)上增加正壓變壓的工藝過程。這種先在低真空范圍變壓加熱，接著進行正壓變壓加熱的工藝及其設(shè)備稱為低真空變壓熱處理技術(shù)。爐膛在低真空至正壓大范圍變壓加熱，以中性氣體迅速置換爐膛中的空氣、水分等氧化物質(zhì)，而后充以工藝規(guī)定的滲劑，使工件在設(shè)定的氣氛中加熱，加熱后如果在爐內(nèi)冷卻即可實現(xiàn)無氧化、無脫碳淬火；如果加熱后在爐外冷卻，則工件從爐中取出時同空氣接觸，產(chǎn)生少量氧化而實現(xiàn)少無氧化加熱。

真空氣氛爐的特點是什么?

1、爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，爐體采用10mm鋼板加 工而成，安全可靠， 符合國家標準多種安全防護設(shè)計，安全性能好。

2、爐門為側(cè)開方式，從左往右爐門及爐頂由緊固螺絲固定，爐門及爐頂配備循環(huán)水冷系統(tǒng)，爐體上有進氣口、出氣口、抽真空口。

3、可以通氫氣、氬氣、氮氣等其他惰性氣體，并能預抽真空，真空度可以達到-0.1MPa，氣氛壓力可以達到-0.1Mpa，玻璃轉(zhuǎn)子流量計和進出口管道。

4、配備RS-485通訊接口，數(shù)據(jù)管理軟件，具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線，校正溫度偏離誤差的功能，可以管理多臺設(shè)備和遠程故障診斷分析。

真空氣氛燒結(jié)爐廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材等領(lǐng)域的生產(chǎn)及實驗。